流量控制閥安裝在高性能質(zhì)量流量控制器上。

閥門開(kāi)度通過(guò)外部通訊 0~5V 調(diào)節(jié)。 配備壓電陶瓷促動(dòng)器的控制閥，用于高速控制氣體流量和壓力控制。

SUS-316L 塊和 Au 密封允許調(diào)節(jié)腐蝕性氣體的流量。

CV-3000 型

長(zhǎng)處

使用示例

壓力控制閥

許多實(shí)驗(yàn)和制造過(guò)程都需要恒定的腔室壓力。 它可以通過(guò)組合壓力表、PID 控制器和 CV-3000 作為壓力設(shè)備進(jìn)行控制。

規(guī)格表

溫度 *小壓差 *壓差 *流量 密封 響應(yīng)時(shí)間
0~50°C 50kPa 300kPa 10SLM 金 0.5 秒或更短

* 規(guī)格表是具有一般規(guī)格的調(diào)節(jié)閥。 可以通過(guò) options 進(jìn)行更改。