北崎供應(yīng)KASHIYAMA柏山SDH6000干式真空泵
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SD 系列的特點
過程耐性的繼承與進(jìn)化
,進(jìn)一步的實現(xiàn)低電力化
世界上*小的足跡
SEMI/CE/NRTL對應(yīng)各規(guī)格
新的新建外觀設(shè)計傳承工藝公差,追求進(jìn)化堅固(過程耐性)
除了獨創(chuàng)形狀的螺桿外,新的加熱器系統(tǒng)進(jìn)一步強(qiáng)化了工藝耐性,特殊材料的高耐腐蝕性和豐富的溫度變化,實現(xiàn)了廣泛的工藝響應(yīng)
小型(小型化)
安全性(安全性)
型號*1 | SDX600型 | SDT600 系列 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
*抽速 [L/min]*2 *6 |
10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
極限壓力 [Pa] *2 |
0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
電源電壓 (50/60Hz) | 三相 AC200~220V*7 | ||||||||
N2流速 [SLM] | 0~80 | 0~120 | |||||||
冷卻水流量 [L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
功耗[kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
外形尺寸 [mm]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 |
*1) SDX 節(jié)能和 Hirsch 工藝兼容機(jī)器、SDT 和 SDH 耐加工和 Super Hirsch 兼容機(jī)器
*2) 不使用加熱器和 N2 吹掃時的值
*3) 達(dá)到運(yùn)行時的大約功耗。
*4) 包裝尺寸。 有關(guān)詳細(xì)尺寸,請索取外部圖紙。
*5) 我們擁有具有*耐加工性的產(chǎn)品系列,因此請聯(lián)系我們的銷售人員。
*6) *抽速為近似值。
*7) 對于本電源以外的要求,請單獨與我們聯(lián)系。 * 請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。
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