ULVAC愛(ài)發(fā)科 低溫泵 CRYO-U30H

ULVAC愛(ài)發(fā)科 低溫泵 CRYO-U30H

低溫泵是一種伸縮式真空泵，旨在實(shí)現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上，并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點(diǎn)是可以提供無(wú)油污染的清潔真空。

此外，值得注意的是，低溫泵盡管使用吸附方式，但與其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個(gè)行業(yè)和研究部門。

在考慮安裝低溫泵時(shí)，其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢(shì)。

長(zhǎng)處

非常適合大型薄膜沉積設(shè)備。

水的抽速*。

濺射離子泵PST系列

PST-030CU PST-030AU PST-050CU PST-050AU PST-100CX PST-100AX

PST-110AU PST-200CXII PST-200AXII PST-400CXII PST-400AXII

控制器

GST-07L-B

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油擴(kuò)散泵

DPF-200

DPF-050

油擴(kuò)散泵ULK系列ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

油擴(kuò)散噴射泵PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

水冷擋板（用于PBL）

BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20

水冷擋板（用于 PFL）

BW-22   BW-36   BW-52  

油擴(kuò)散泵PFL系列PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52 

規(guī)范

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。