價格
電議
型號
GR90A
品牌
ULVAC愛發(fā)科
所在地
四川省 成都市
更新時間
2025-08-07 14:43:36
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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR90A
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR90A
多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。
干式真空泵“Model：GR”是在久經(jīng)考驗的“Model：LR?HR”的基礎(chǔ)上，為一般工業(yè)設(shè)計的結(jié)構(gòu)簡單的泵。
長處
可用于高負載應(yīng)用，例如大氣~真空的重復(fù)抽真空和高壓區(qū)域的連續(xù)運行
非常適合需要高通量的載重鎖室（制備室和取出室）的排氣
與通用感應(yīng)電機兼容
可安裝防爆電機等特殊電機（可選）
使用多電壓電機
用
真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體
各種沉積設(shè)備的制備室和取出室的排氣
一般工業(yè)應(yīng)用，如真空干燥、真空氣體置換和真空消泡
真空氣體置換，例如真空絕熱和充氣
| 型 | GR60A 系列 | GR90A 系列 | GR180A 系列 | |||||
| *抽速 | 50 赫茲 | m3/h（升/分鐘） | 62(1860) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60 赫茲 | m3/h（升/分鐘） | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 極限壓力 *1 | 帕 | 5.0 | ||||||
| *入口壓力 |
|
氣壓 | ||||||
| *排氣口壓力 | 帕 | 1~大氣壓 | ||||||
| 進氣口 | VG50 系列 | VG80型 | ||||||
| 排氣口 | 西北 40 | |||||||
| DRP 表面處理 | 〇 | |||||||
| 發(fā)動機 | 輸出功率 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 電壓 [V] | 50 赫茲 | 200~240/380~415°C | ||||||
| 60 赫茲 | 200~240/380~460°C | |||||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷卻方式 |
冷卻水 的一次供應(yīng)壓力 |
兆帕 | 0.1~0.3 | |||||
|
冷卻水 入口/出口壓差 |
兆帕 | >0.1 | ||||||
| 冷卻水溫度 | °C | 10~30 *2 | ||||||
| 冷卻水流量控制 | 升/分鐘 | >5.0 | ||||||
| 氮氣 | 一次供氣壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||
|
出口 調(diào)節(jié)壓力 *3 |
兆帕 | 0.05~0.1（運轉(zhuǎn)） | ||||||
| 軸 | SLM 系列 | 5.0 *4 | ||||||
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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR90A
多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。