ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 UTM70B

ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 UTM70B

渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施。 該泵通過(guò)高速移動(dòng)分子來(lái)有效地產(chǎn)生真空。

渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定定子組成。 轉(zhuǎn)子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產(chǎn)生真空。 這個(gè)過(guò)程利用分子的動(dòng)能并且非常高效。

與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準(zhǔn)備真空環(huán)境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導(dǎo)體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應(yīng)用于各種行業(yè)和研究領(lǐng)域。

這是一種渦輪分子泵，帶有一個(gè)使用磁浮軸承的獨(dú)立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號(hào)陣容。 控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

這是一種使用陶瓷滾珠軸承的復(fù)合翼型渦輪分子泵。

通過(guò)將控制器和泵集成在一起，可以節(jié)省空間。

*的高背壓特性也使得減小輔助泵的尺寸成為可能。

長(zhǎng)處

由于對(duì)安裝方向或

安裝方向沒有限制，因此擴(kuò)大了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

帶有

車載控制器的控制器安裝在渦輪體上，可有效減少配線和縮小排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比和高排氣壓力

壓縮比以及在高背壓下運(yùn)行的能力使輔助泵的小型化成為可能。

提供三種類型的法蘭：

VG、ICF 和 ISO-K，有三種類型的進(jìn)氣法蘭可供選擇。

它旨在減少碳?xì)浠衔锏幕亓鳎粌H在清潔真空

運(yùn)行期間，而且在泵停止時(shí)也是如此。

用

主要用于分析設(shè)備、研發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等的排氣系統(tǒng)。

氣相沉積設(shè)備、濺射設(shè)備等的主要排氣系統(tǒng)

用于 H2 和 He 等輕氣體的主排氣系統(tǒng)