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層流凈化電子廠廠房潔凈度檢測內(nèi)容和方法-天津中達檢測濟南分公司
層流凈化電子廠廠房潔凈度檢測內(nèi)容和方法--天津中達檢測濟南分公司 電子制造業(yè)廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范控制。另外,這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴格的。其中,對濕度的要求更為嚴格。因為在過于干燥的廠房內(nèi)容易產(chǎn)生靜電,會損壞CMOS集成度。
因為凈化工程的檢測主要關(guān)注兩種粒徑,即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度,如果這些粒子不受等速條件的影響,則計算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對大于等于0.5um的顆粒有意義。
電子廠廠房潔凈度檢測 千級無塵車間的潔凈度標(biāo)準是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3);百級車間的潔凈度標(biāo)準是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下??梢钥闯鰸崈舳鹊燃壴礁叩能囬g,標(biāo)準也更高,要求車間內(nèi)的塵埃粒子數(shù)量更少,這樣無塵車間才能更潔凈。
10萬級室內(nèi)空氣參數(shù)需求: 1.新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的*值:非單向流潔凈室送風(fēng)量的10-30%;補償室內(nèi)排風(fēng)和堅持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3 /h。
十萬級車間的潔凈度標(biāo)準是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過3500000個,大或等于5微米的粒子數(shù)不得過20000個;萬級車間的潔凈度標(biāo)準是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過350000個,直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過2000個; 在電子潔凈廠房高能效過濾器的應(yīng)用上,電子凈化工程嚴格依照規(guī)定在潔凈度10萬級或高于10萬級以上的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、中效、高能效過濾器的三個等級過濾。而我們在某潔凈工程驗證過程中,某電子潔凈廠房工程在萬級的凈化級別上,采用亞高能效空氣過濾器代替高能效空氣過濾器,造成了潔凈度不合格,*終更換了高能效過濾器,才符合需要達到的標(biāo)準。
電子廠廠房潔凈度檢測 電子凈化廠注意要點:防止灰塵、防靜電、防止負壓;集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),顯示器生產(chǎn)(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級管,電容、電阻),整機組裝生產(chǎn)(機頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機構(gòu))等。微電子工業(yè)是當(dāng)前對潔凈室要求較高工業(yè)潔凈業(yè)-如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn),同樣均有潔凈度的要求。
10萬級無塵室主要采用的送風(fēng)方式: 1.局部孔板頂棚送風(fēng); 2.帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風(fēng); 3.上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。10萬級無塵室主要采用的回風(fēng)方式: 1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口; 2.當(dāng)采用過道回風(fēng)時,在過道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。
天津中達檢測有限公司濟南分公司是一家的第三方潔凈室(潔凈度)檢驗檢測機構(gòu),(snjjhjjc)獲得了山東省質(zhì)量技術(shù)局頒發(fā)的檢驗檢測機構(gòu)證書(CMA)為客戶提供的潔凈室、潔凈廠房、潔凈區(qū)、潔凈車間等驗收檢驗檢測技術(shù)服務(wù),出具第三方潔凈工程(項目)竣工驗收檢測資質(zhì)、日常潔凈監(jiān)測。