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EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT2400F
EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT2400F
EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT2400F
渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)
高真空性能:渦輪分子泵能夠?qū)崿F(xiàn)高真空(10^-10 Pa級(jí)別),滿足高精度工藝和科學(xué)實(shí)驗(yàn)的需求。
無油污染:由于無需油液潤(rùn)滑,渦輪分子泵特別適合對(duì)潔凈度要求極高的行業(yè),如半導(dǎo)體和光學(xué)鍍膜。
高效抽氣:對(duì)輕質(zhì)氣體和中質(zhì)氣體具有較高的抽氣速度,能夠快速建立并維持真空環(huán)境。
長(zhǎng)壽命和低維護(hù):渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)精密,運(yùn)行穩(wěn)定,維護(hù)成本低,使用壽命長(zhǎng)。
環(huán)保節(jié)能:無油運(yùn)行減少了油類廢棄物的產(chǎn)生,符合環(huán)保要求;同時(shí),現(xiàn)代渦輪分子泵采用高效電機(jī)和變頻控制技術(shù),進(jìn)一步降低了能耗。
適應(yīng)性強(qiáng):能夠處理多種氣體,包括腐蝕性氣體和易凝結(jié)氣體,適用范圍廣泛。
渦輪分子泵應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝,提供高潔凈度的真空環(huán)境。
科學(xué)研究:在粒子加速器、核聚變實(shí)驗(yàn)、表面物理和材料科學(xué)等領(lǐng)域,渦輪分子泵用于實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境。
航空航天:用于模擬太空環(huán)境,測(cè)試航天器部件在真空條件下的性能。
光學(xué)鍍膜:在光學(xué)鏡片、濾光片和激光元件的鍍膜工藝中,渦輪分子泵提供無污染的真空條件。
分析儀器:用于質(zhì)譜儀、電子顯微鏡和同步輻射裝置等精密儀器中,確保高真空環(huán)境的穩(wěn)定性。
醫(yī)療設(shè)備:在放射性同位素生產(chǎn)和醫(yī)療成像設(shè)備中,渦輪分子泵用于維持高真空環(huán)境。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商,成立于1912年,部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀,荏原以“為地球環(huán)境和社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命,業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域,產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
核心業(yè)務(wù)與技術(shù)優(yōu)勢(shì)
荏原的核心產(chǎn)品包括:
流體機(jī)械:全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案,廣泛應(yīng)用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領(lǐng)域,其高效節(jié)能設(shè)計(jì)顯著降低碳排放。
環(huán)境工程:提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術(shù),助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設(shè)備:蒸汽輪機(jī)、燃?xì)鈮嚎s機(jī)等產(chǎn)品服務(wù)于石油、化工及新能源產(chǎn)業(yè)。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:高純度真空泵等產(chǎn)品支撐電子行業(yè)精密制造。