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原裝進(jìn)口EBARA 荏原 G5-600 A1-A4 燃燒式廢氣處理器
2025/03/13 10:09:21
原裝進(jìn)口EBARA 荏原 G5-600 A1-A4 燃燒式廢氣處理器
原裝進(jìn)口EBARA 荏原 G5-600 A1-A4 燃燒式廢氣處理器
G5 系列
可燃性氣體和溫室氣體 (PFC) 氣體的高效處理、燃燒式廢氣處理裝置
燃燒廢氣處理系統(tǒng)
多種氣體的批處理
PFC 氣體的高效處理
副產(chǎn)品對(duì)策和粉末自動(dòng)卸料功能
運(yùn)行成本低
正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)
根據(jù)氣體類型和體積按需運(yùn)行
提高可維護(hù)性
提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
產(chǎn)品介紹
G5 是一種燃燒式廢氣處理系統(tǒng),能夠高效處理制造過(guò)程中使用的各種氣體。 可以一次處理多種氣體,并且可以高效處理通常難以處理的 PFC 氣體。 通過(guò)我們的副產(chǎn)品對(duì)策和根據(jù)要處理的氣體類型和數(shù)量按需(可變?nèi)剂瞎?yīng))作來(lái)降低運(yùn)行成本。 它非常適合用于半導(dǎo)體、液晶面板、太陽(yáng)能電池和 LED 等電子元件的制造、化學(xué)和材料制造商以及各種實(shí)驗(yàn)室。 還提供*流量為 1,200 L/min 的大流量型。
規(guī)范
型 | 單位 | G5-350 A1~A4/P1~P4 | G5-500 A1~A4/P1~P4 | G5-600 A1~A4/P1~P4 | G5-1200 A1~A4/P1~P4 |
加工方法 | 燃燒 + 濕式 | 燃燒 + 濕式 | 燃燒 + 濕式 | 燃燒 + 濕式 | |
*進(jìn)氣量 | 升/分鐘 | 350 | 500 | 600 | 1200 |
燃料 | 城市燃?xì)?丙烷氣選擇 | 城市燃?xì)?丙烷氣選擇 | 城市燃?xì)?丙烷氣選擇 | 城市燃?xì)?丙烷氣選擇 | |
大小 | 寬 x 深 x 高 mm | 1,200 x 650 x 1,900 | 1,200 x 650 x 1,900 | 1,200 x 1,100 x 2,000 | 1,200 x 1,100 x 2,200 |
可處理氣體示例 |
工藝(庫(kù))氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蝕 刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
工藝(庫(kù))氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蝕 刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
工藝(庫(kù))氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蝕 刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
工藝(庫(kù))氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蝕 刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
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標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 | 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | |
選擇 | 市政水和廢水消耗減少裝置 | 市政水和廢水消耗減少裝置 | 市政水和廢水消耗減少裝置 | 市政水和廢水消耗減少裝置 |
儀器相關(guān):
山高SANKO(代理)、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機(jī)SUGIYAMA(代理)、愛(ài)安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設(shè)備相關(guān):
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN
光源相關(guān):
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫(xiě)速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門(mén)子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)