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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 C30PMVRT
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 C30PMVRT
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 C30PMVRT
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實(shí)現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點(diǎn)是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個(gè)行業(yè)和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時(shí),其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢(shì)。
需要運(yùn)行低溫泵。
壓縮的氦氣被送入冰箱,從冰箱返回的高溫氦氣被冷卻和循環(huán)。
EXN系列
EXN2T-40A
EXN3T-40A
EXN4T-40A
EXN2M-40A
EXN3M-40A
EXN4M-40A
EXN2T-70W
EXN3T-70W
EXN4T-70W
EXN2M-70W
EXN3M-70W
EXN4M-70W
RF電源選配RFS-N系列匹配器切換機(jī)MEX-N系列
MEX4N-1k
MEX4N-3k
MEX4N-5k
MEX5N-1k
MEX5N-3k
MEX6N-1k
MEX6N-3k
MEX7N-1k
MEX7N-3k
MEX8N-1k
MEX8N-3k
規(guī)范
功率 KW (50/60Hz) | 5.2/6.5 |
冷卻方式:水量 (L/min) (20°C) |
水冷 5.5 |
重量 (Kg) | 121 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。