氣體流量控制的*使用溫度120℃、非通電狀態(tài)下使用溫度可高達(dá)150℃的耐高溫質(zhì)量流量控制器。

通過將高溫氣體接觸部分與不耐熱的基板部分分離，可以實(shí)現(xiàn)高溫環(huán)境下的氣體控制。

接氣體加熱模塊采用不銹鋼材料SUS-316L，密封材料采用Au，可對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體。

在標(biāo)準(zhǔn)配置基礎(chǔ)上，還可選配防止液化氣體再次液化的低壓差規(guī)格，以及接觸氣體部分加熱模塊。

耐高溫質(zhì)量流量控制器
【MC-3000L-TC】

特點(diǎn)

• 使用溫度Max120℃

• 金屬密封件

• 無塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）

• RS-485數(shù)字通訊接口

選配規(guī)格

• 液化氣體

• 加熱模塊

使用范例

液化氣體、升華氣體流量控制

CVD（化學(xué)氣相沉積法）和 ALD （原子層沉積法）中所使用的氣源不僅限于常溫常壓下的氣體，也可能是常溫常壓下的液體或固體原料。液體和固體在常溫條件下產(chǎn)生的氣體較少，很難利用壓差原理來控制流量。因此，MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產(chǎn)生壓差來確保的。MC-3000L-TC能夠進(jìn)行高溫控制和低壓差工作，是液化和揮發(fā)性氣體流量控制的理想選擇。

規(guī)格表 

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。　根據(jù)選配規(guī)格變化。

北崎9年，日本會(huì)社20年，專注領(lǐng)域如下：

儀器相關(guān)：

山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關(guān)：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：

SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

北崎優(yōu)勢：

1、以下三大類前6項(xiàng)均為日本原廠授權(quán)代理銷售；其它為廠家項(xiàng)目授權(quán)代理銷售；

2、未歸類的為我司日本本社向日本原廠直接采購，可提供關(guān)單和產(chǎn)地證明。

光源類：

1、EYE巖崎——UV燈、照度計(jì) （備庫銷售）

2、SEN日森——UV固化裝置、高壓水銀燈、紫外光清洗設(shè)備 （備庫銷售）

3、CCS晰寫速——環(huán)形光源、面光源、光源箱   （部份光源可提供試樣）

4、REVOX萊寶克斯——光源箱

5、SERIC索萊克——人工太陽照明燈

6、POLARION普拉瑞——強(qiáng)光燈

7、FUNATECH船越龍——目視檢查燈  （備庫銷售）

8、USHIO牛尾——UV汞燈、小燈泡

9、ATIEC艾泰克——光源、條光、同軸光、強(qiáng)光燈

10、YAMADA依夢(mèng)達(dá)——光源 （備庫銷售）

儀器儀表類：

1、SANKO山高——膜厚儀、金屬探測儀  

2、TOKI東機(jī)產(chǎn)業(yè)——粘度計(jì)

3、SONIC索尼克——超聲波風(fēng)速儀、氣體及液體流量計(jì) （備庫銷售）

4、SAKAGUCHI坂口電熱——熱電偶、耐熱線、熱電對(duì)

5、DIT東日技研——靜電消除器、離子風(fēng)棒

6、SUGIYAMA杉山電機(jī)——下死點(diǎn)檢測儀、誤送檢測裝置 （備庫銷售）

7、IIJIMA飯島電子——酸素計(jì)、氧氣分析儀、濃度計(jì)

8、TORAY東麗——?dú)怏w分析儀

9、HIOKI日置——功率分析儀、記錄儀、電流傳感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度計(jì)、輝度計(jì)、照度計(jì)  （備庫銷售）

11、KYOWA共和——應(yīng)變儀、應(yīng)變片、傳感器  （部份備庫銷售）

12、USHIO牛尾——照度計(jì) （備庫銷售）

13、ORC歐阿希——照度計(jì) （備庫銷售）

14、AND愛安德——水分計(jì)、天平、粘度計(jì) （備庫銷售）

15、YASKAWA安川——磁性開關(guān) （備庫銷售）

16、RKC——熱電偶、溫控器 （備庫銷售）

17、EXCEL——聽音機(jī) （備庫銷售）

小設(shè)備類：

1、SIBATA柴田——環(huán)境凈化設(shè)備、大流量采樣器、微型泵 （部份備庫銷售）

2、YAMATO雅馬拓——恒溫箱、干燥箱、氣氛爐

3、NEWKON新光——打孔機(jī)、鋼印機(jī)

4、MUSASHI武藏——點(diǎn)膠機(jī)

5、KAIJO凱捷——清洗機(jī)

6、TSUBOSAKA壺坂——對(duì)比度儀

7、EYELA東京理化---旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀

8、NIDEC尼得科——減速機(jī)

9、AKiribis雅科貝斯——加工平臺(tái)、高速直驅(qū)電機(jī)

10、OTSUKAEL大塚——光學(xué)膜厚儀、粒度儀

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