*小工作壓差800Pa（6 Torr）的低壓差質(zhì)量流量控制器。

搭載LINTEC獨(dú)創(chuàng)的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器抵壓損構(gòu)造，在±1%F.S.精度范圍內(nèi)減少壓力損失。

搭載獨(dú)創(chuàng)的高性能壓電控制閥，在低壓差環(huán)境下亦可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、的流量控制。

MC-3102S

特點(diǎn)

• 低壓差（800Pa）

• 使用溫度5～50℃

• 金屬密封材

• 無塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）

• 環(huán)境溫度補(bǔ)足式傳感器

• RS-485數(shù)字通訊接口

選配規(guī)格

• 微小流量F.S.

使用范例

低蒸氣壓氣體在低溫環(huán)境下的流量控制

MC-3000S系列是采用LINTEC獨(dú)自開發(fā)的抵壓損構(gòu)造的質(zhì)量流量控制器，如果二次側(cè)為真空狀態(tài)，即使在常溫條件下也能對(duì)H2O等液體原料進(jìn)行流量控制。使用ITO濺射方法，該方法將少量水蒸氣發(fā)送到真空室。 此外，即使是低蒸氣壓的固體原料（如 XeF2），常溫條件下也可以進(jìn)行流量控制。

減圧タンク容器（SDS容器）の流量制御 減壓罐容器（SDS容器）的流量控制

離子注入設(shè)備中使用AsH3和PH3等特殊材料氣體，并且通常使用安全輸送源Safe Delivery Source（SDS）容器來實(shí)現(xiàn)安全穩(wěn)定的輸送。SDS填充的罐壓低于大氣壓，需使用對(duì)應(yīng)低壓差環(huán)境的MFC。搭載低壓差結(jié)構(gòu)的MC-3000S系列產(chǎn)品則可以滿足這一需求。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。　根據(jù)選配規(guī)格變化。

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