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北崎供應(yīng)EBARA 荏原 TND 濕式廢氣處理器
2025/03/13 09:31:52
北崎供應(yīng)EBARA 荏原 TND 濕式廢氣處理器
北崎供應(yīng)EBARA 荏原 TND 濕式廢氣處理器
TND
低 NOx 和豐富的反應(yīng)副產(chǎn)物對(duì)策，燃燒式廢氣處理系統(tǒng)，降低維護(hù)成本
燃燒廢氣處理系統(tǒng)
低 NOx、低 CO 排放
多種氣體的批處理
PFC 氣體的高效處理
副產(chǎn)品對(duì)策和粉末自動(dòng)卸料功能
濕-燃燒-濕型號(hào)可選
長(zhǎng)期維護(hù)間隔
運(yùn)行成本低
產(chǎn)品介紹
TND 型是一種燃燒式廢氣處理系統(tǒng)，采用的燃燒方法，實(shí)現(xiàn)低 NOx 和低 CO 排放。 通過(guò)各種腐蝕和副產(chǎn)品對(duì)策，實(shí)現(xiàn)了比傳統(tǒng)產(chǎn)品多 3 倍以上的維護(hù)間隔，并且采用耗電量少的低運(yùn)行成本方法，可以以較低的成本使用。 產(chǎn)品陣容包括 TND-Single 型燃燒型 + 凈水機(jī)和 TND-Single Plus 型預(yù)清洗 + 燃燒型 + 凈水機(jī)。 即使在具有許多副產(chǎn)品的工藝中，也能實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本和高效加工。
規(guī)范
| 型 | 單位 | TND-單 A1-A4/ TND-單 P1~P4 | TND-單加-A1~A4/P1~P4 |
| 加工方法 | 燃燒 + 濕式 | 濕式 + 燃燒式 + 濕式 | |
| *進(jìn)氣量 | 升/分鐘 | 200 （每個(gè)端口） | 200 （每個(gè)端口） |
| 400 （每單位） | 400 （每單位） | ||
| 燃料 | 城市燃?xì)?丙烷氣選擇 | 城市燃?xì)?丙烷氣選擇 | |
| 大小 | 寬 x 深 x 高 mm | 1,200 x 650 x 1,980 | 1,200 x 650 x 1,980 |
| 可處理氣體示例 |
工藝（倉(cāng)庫(kù)）氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。 一般 清洗氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 一般 蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
工藝（庫(kù)）氣體 WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般 蝕 刻氣體 HBr、Cl2PFC 如 SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6、CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
|
| 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 | 用于除粉的水清潔機(jī)制 | 前級(jí)粉末收集機(jī)構(gòu) | |
| 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | ||
| 選擇 | 市政水和廢水消耗減少裝置 | 市政水和廢水消耗減少裝置 | |
| 粉體減排風(fēng)機(jī)洗滌器 | 粉體減排風(fēng)機(jī)洗滌器 | ||
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛(ài)安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN
光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫(xiě)速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門(mén)子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）
