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山西省朔州市電子廠無(wú)塵車間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)-安衡檢測(cè)
山西省朔州市電子廠無(wú)塵車間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)--安衡檢測(cè)
微生物*允許數(shù)(每立方米):浮游菌數(shù)不能出500個(gè);菌數(shù)不能出10個(gè)每培養(yǎng)皿。壓差:相同潔凈度等級(jí)的潔凈車間壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈車間之間壓差要≥5Pa,潔凈車間與非潔凈車間之間要≥10Pa。
風(fēng)速:測(cè)定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,一般可用熱球式風(fēng)速儀,需要測(cè)出分速度時(shí),應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計(jì)。對(duì)于單向流潔凈室,可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,垂直單向流潔凈室的測(cè)定截面積取距地面0.8的無(wú)阻隔面(孔板,格柵除外)的水平截面,如有阻隔面,該測(cè)定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直于地面的截面,截面上測(cè)點(diǎn)間距不應(yīng)大于1m,一般取0.3m。測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于20個(gè),均勻布置。
電子廠無(wú)塵車間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) 目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。
因?yàn)閮艋こ痰臋z測(cè)主要關(guān)注兩種粒徑,即0.5um和5um。等速采樣對(duì)≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計(jì)算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度,如果這些粒子不受等速條件的影響,則計(jì)算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對(duì)大于等于0.5um的顆粒有意義。
空氣懸浮粒子:1.任何潔凈區(qū)內(nèi)取樣點(diǎn)應(yīng)不少于兩個(gè);2.除潔凈區(qū)的設(shè)備限制外,取樣點(diǎn)應(yīng)在整個(gè)潔凈區(qū)均勻布置;3.在一個(gè)區(qū)域內(nèi)應(yīng)少取樣五次,每個(gè)取樣點(diǎn)的取樣次數(shù)可多于一次,不同取樣點(diǎn)的取樣次數(shù)可以不同;為了確定A級(jí)區(qū)的級(jí)別,每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量不得少于1m3。4.取樣點(diǎn)一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺(tái)的高度;5.盡量避免在回風(fēng)口附近取樣,而且測(cè)試人員應(yīng)站在取樣口的下風(fēng)側(cè)。
因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電,會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō),電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。此時(shí),能有效消除靜電,讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。
安衡檢測(cè)空氣凈化服務(wù)(山東)有限公司位于山東濟(jì)南,是一家專注于為各類潔凈室提供全方位檢測(cè)、驗(yàn)證和服務(wù)的*公司。我們擁有一支由經(jīng)驗(yàn)豐富的*人員組成的團(tuán)隊(duì),能夠提供從檢測(cè)、數(shù)據(jù)分析到的一站式服務(wù),幫助客戶確保其生產(chǎn)環(huán)境符合國(guó)際和國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)。主要經(jīng)營(yíng)生物安全柜、潔凈工作臺(tái)、生物安全實(shí)驗(yàn)室、潔凈室、醫(yī)院手術(shù)室、pcr實(shí)驗(yàn)室、負(fù)壓病房、醫(yī)用設(shè)備、醫(yī)療器械車間、食品、電子、醫(yī)藥、獸藥、等凈化車間中央空調(diào)的環(huán)境檢測(cè)服務(wù)及實(shí)驗(yàn)儀器的技術(shù)服務(wù);清潔服務(wù);消毒服務(wù);室內(nèi)環(huán)境檢測(cè);大氣環(huán)境污染防治服務(wù)。環(huán)境應(yīng)急治理服務(wù);室內(nèi)空氣污染治理;環(huán)保咨詢服務(wù);大氣環(huán)境污染防治服務(wù);大氣污染治理;環(huán)境保護(hù)監(jiān)測(cè)等等sxanhengjc