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山西省陽泉市電子無塵車間環(huán)境檢測-安衡檢測
山西省陽泉市電子無塵車間環(huán)境檢測--安衡檢測
電子無塵車間后,為電子無塵車間空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的電加熱器出示空氣清新和過熱關(guān)閉電源維護(hù)(假如應(yīng)用點(diǎn)增濕器,應(yīng)出示沒有水維護(hù))。嚴(yán)寒氣溫地區(qū)應(yīng)是新鮮空氣系統(tǒng)出示防寒保障措施。
于30min;3.室內(nèi)測點(diǎn)可在送回風(fēng)口處或在恒溫恒濕工作區(qū)具有代表性的地點(diǎn)布置。測點(diǎn)一般應(yīng)布置在距外墻表面大于0.5m、距地0.8m的同一高度上;也可以根據(jù)恒溫恒濕去區(qū)的大小,分別布置在離地不同高度的幾個(gè)平面上。
電子無塵車間環(huán)境檢測 2、風(fēng)速:風(fēng)速的檢測目的在于確定一定時(shí)間內(nèi)的送風(fēng)量和排風(fēng)量,以便得到實(shí)時(shí)的數(shù)據(jù)對(duì)通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行合理的調(diào)節(jié)以達(dá)到需求的生產(chǎn)環(huán)境。
目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。
風(fēng)速:測定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,一般可用熱球式風(fēng)速儀,需要測出分速度時(shí),應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計(jì)。對(duì)于單向流潔凈室,可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,垂直單向流潔凈室的測定截面積取距地面0.8的無阻隔面(孔板,格柵除外)的水平截面,如有阻隔面,該測定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直于地面的截面,截面上測點(diǎn)間距不應(yīng)大于1m,一般取0.3m。測點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于20個(gè),均勻布置。
消毒產(chǎn)品車間:(消毒車間潔凈度驗(yàn)收、消字號(hào)車間潔凈度報(bào)告)
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