渦輪分子泵是實現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設備，廣泛應用于半導體制造和研究設施中。該泵通過高速移動分子來高效地生成真空。
渦輪分子泵由高速旋轉的轉子和固定的定子組成。轉子的葉片與分子碰撞，將分子加速向排氣口，從而產(chǎn)生真空。這個過程利用了分子的動能，非常高效。
與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有極高的排氣速度，能夠快速建立真空環(huán)境。此外，由于不使用油，它能提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導體制造等精密工作。渦輪分子泵還具有從低真空到高真空的廣泛適用性，被廣泛應用于各種工業(yè)和研究領域。