百級(jí)/千級(jí)/萬級(jí)電子廠潔凈室潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目及要求 年檢項(xiàng)目--安衡檢測(cè)

對(duì)于無塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

空氣懸浮粒子：1.任何潔凈區(qū)內(nèi)取樣點(diǎn)應(yīng)不少于兩個(gè)；2.除潔凈區(qū)的設(shè)備限制外，取樣點(diǎn)應(yīng)在整個(gè)潔凈區(qū)均勻布置；3.在一個(gè)區(qū)域內(nèi)應(yīng)少取樣五次，每個(gè)取樣點(diǎn)的取樣次數(shù)可多于一次，不同取樣點(diǎn)的取樣次數(shù)可以不同；為了確定A級(jí)區(qū)的級(jí)別，每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量不得少于1m3。4.取樣點(diǎn)一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺(tái)的高度；5.盡量避免在回風(fēng)口附近取樣，而且測(cè)試人員應(yīng)站在取樣口的下風(fēng)側(cè)。

電子廠潔凈室潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目及要求  4、電子制造業(yè)萬級(jí)潔凈室新風(fēng)量取下列兩項(xiàng)中較大值：(1)補(bǔ)償維持室內(nèi)正壓值所需的室內(nèi)排風(fēng)量和新風(fēng)量之和。(2)潔凈室每人每小時(shí)新風(fēng)量不應(yīng)少于40立方米。(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱器應(yīng)設(shè)有新風(fēng)和溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)。如果采用點(diǎn)加濕方式，則無需設(shè)置水保護(hù)。在寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防凍保護(hù)措施。

電子制造業(yè)廠潔凈室檢測(cè)要求潔凈度等級(jí)、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對(duì)靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對(duì)濕度的要求更為嚴(yán)格。因?yàn)樵谶^于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。

沉降菌測(cè)試：1.取樣點(diǎn)的分布及其取樣位置與空氣浮游菌監(jiān)測(cè)相同；日常監(jiān)控可以根據(jù)風(fēng)險(xiǎn)分析結(jié)果，沉降菌與浮游菌交替或混合取樣。2.沉降時(shí)間至少為半小時(shí)，但不得過4小時(shí)。

10萬級(jí)無塵室主要采用的送風(fēng)方式： 1.局部孔板頂棚送風(fēng)； 2.帶擴(kuò)散板高效空氣過濾器頂棚送風(fēng)； 3.上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。

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